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气体产品

高纯电子气

高纯电子气

详细信息 :

无机气体产品


气体名称 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
氦气 He 99.995 TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10
99.999 O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1
Ar 99.99 O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15
99.999 O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4
H2 99.99 O2≤5 CO2≤5 N2≤60 TCH4≤10 CO≤5 H2O≤5
99.999 O2≤1 CO2≤1 N2≤5 TCH4≤1 CO≤3 H2O≤1
N2 99.99 O2≤50 CO2≤10 N2≤10 CO≤5 H2O≤15 CH4≤30
99.999 O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3
O2 99.995 Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 THC≤2
二氧化碳 CO2 99.999 O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1
一氧化碳 CO 99.95 N2<350,O2<50,H2O<5
二氧化硫 SO2 99.97 O2+N2<100,H2O<10,其他<200
一氧化氮 NO 99.5 N2O<4000、NO2<2000、N2<300、CO2<500
硫化氢 H2S 99.9 H2<200ppm、O2+N2<100ppm、H2O<3ppm
氯化氢 HCl 99.9%  
氯化氢 HCl 99.99%  
氯化氢 HCl 99.999% N2≤4,CO2≤5,H2O≤1,O2+Ar≤1,TCH≤1
液氯 Cl2 99.9 CO2<400、CO﹤10、H2<200,N2<100、O2<20、H2O<100
99.999  
NH3 99  
99.999 O2<1.0ppm、N2<2.0ppm、CO﹤1.0ppmH2O<2.0ppm 
THC(C1~C3)<1.0ppm
六氟化硫 SF6 99.99 O2≤10 H2O≤5 N240 HF≤0.1 CF4≤25
合成空气 Air O2:19.5-22.5 H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5
零点空气   O2:19.5-22.5 H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1



有机气体产品


气体名称 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
甲烷 CH4 99.5 O2≤100 HC≤1500 N2≤600 H2≤2000
99.95 O2≤5 H2≤10 N2≤100HC≤100H2O≤5 CO/CO2≤10
99.995 O2≤2 H2≤5 N2≤10 HC≤20 H2O≤5 CO/CO2≤1
99.9995 O2≤0.5 H2≤0.1 N2≤2 HC≤0.1 H2O≤2 CO2≤0.1
乙烷 C2H6 99.9 O2≤50 N2≤40 HC≤1000
99.99 O2≤2 HC≤100 N2≤5H2O≤5 CO2≤5
乙烯 C2H4 99.95 O2≤2 CH4≤100 N2≤5 C2H6≤350 H2O≤30 HC≤100
丙烷 C3H8 98.5 O2≤100 HC≤14000 CO+CO2≤10 H2O≤12
99.95 O2≤10 HC≤400 N2≤40 H2O≤5 CO2≤10
丙烯 C3H6 99.5 HC≤1000 C3H8≤4000
99.95 N2≤10 C3H8≤3000 C4H6-1.3≤5 CH4≤5 C4H10≤5 C6H6≤5
丙二烯 C3H4 98 丙炔≤20000
正丁烷 n-C4H10 99.0 O2≤15 H2O≤20 HC≤1%
99.5 O2≤15 H2O≤12 HC≤5000 CO2+CO2≤10
99.95 O2≤10 H2O≤10 HC≤500 CO2+CO2≤10
异丁烷 i-C4H10 99.5 O2≤15 C3H8≤4000C4(uns.)≤100 H2O≤15
n-C4H10≤2500 CO+CO2≤10
99.99 O2≤10 C3H8≤10 C4(uns.)≤50 H2O≤ 5 n-C4H10≤50 CO+CO2≤10
丁烯-1 1-C4H8 99.9 H2O≤10 HC≤1000
顺-2-丁烯 C-2-C4H8 99.4 HC≤7000
反-2-丁烯 t-2-C4H8 99.4 HC≤7500
异丁烯 i-C4H8 99.99 H2O≤5 HC≤100
1.3-丁二烯 1,3-C4H6 99.8 O2≤5 N2≤10 HC≤1200
正戊烷 n-C5H12 99.5 C5H10﹤0.1wt%i-C5H120.4wt%
异戊烷 i-C5H12 99.3 n-C5H12wt0.5%
氯甲烷 CH3Cl 99 CH3OH<4000
溴甲烷 CH3Br 99.99 O2≤1,H2O≤2
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